產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆  采用質(zhì)量流量計，實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。

◆  頂置真空艙，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。

◆  有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源。