產品特點

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài)，20 個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  采用質量流量計，  氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統，   可選多氣路氣體輸送系統?？奢斎胙鯕?、氬氣、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

◆  采用多孔道進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

◆  全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質。